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多離子束顯微鏡ORION NanoFab

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離子束顯微鏡集3種聚焦離子束于一身的顯微鏡,可以實現亞10nm結構的超高精度加工

快速、精準的亞10納米結構加工。借助ORION NanoFab顯微鏡可在鎵、氖及氦離子束之間實現無縫切換:

 氖離子束可以快速高效地進行納米結構加工。

■ 氦離子束可以加工亞10nm級精度的結構。

■ 備選的鎵聚焦離子束能夠進行大塊樣品材料的刻蝕。

ORION NanoFab集鎵、氖、氦三種離子束于一身,是能實現從微米到納米微加工的先進成像加工系統。


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